３次元X線顕微鏡（X線CT）は、対象物の内部を非破壊で観察する顕微鏡です。

一般的なX線透視観察装置と異なり、試料を透過したX線を光に変換し、光学レンズにより拡大する特徴があります。そのため、内部の状態および構造・欠陥について高分解能・高コントラストな観察が可能です。 また、CTにより３次元像の構築が可能であるため、各方向からの断層イメージを非破壊で得ることができます。

X線は物質を透過する性質があります。 X線が試料を透過する際に一部は吸収されます。 吸収の割合は、材料の密度が高く(原子番号が大きい)、厚さが厚いと大きくなるため、透過するX線強度が低くなります。

■拡大方式

通常の方式では、透過したX線を投影して拡大するため、より高分解能で観察するには、試料をX線源に近づける必要があり、拡大率は試料サイズによります。 X線顕微鏡は、投影拡大に加え、X線を光に変換して光学レンズでさらに拡大するため、試料サイズに関わらず高分解能での観察が可能です。

■X線CT

観察対象のサンプルに対して360°のX線透過情報を基に、コンピュータで計算処理を行い試料の3次元データを構築します。 回転ピッチを狭くし、より多くの情報を得ることで、精度の高い3次元データを構築できます。

試料サイズ（最大）：50mm × 50mm × 50mm
重量（最大）：15kg
X線透過（目安）：アルミ（～22mm）、銅（～2.5mm）、金（～0.1mm）

• 半導体製品の内部構造観察
• MEMSデバイスの内部構造観察
• LED蛍光体の粒度分布測定
• プリント基板内の内部構造観察
• リチウムイオン電池の内部構造観察
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• CFRP（カーボン繊維強化プラスティック）内のカーボン繊維の観察
• バイオマス炭化物の内部構造観察

※本受託観察サービスは東芝ナノアナリシス株式会社との提携により提供しております。