磁場顕微鏡は、試料を破壊せずに試料内部の電流から生じる外部磁場分布を測定し、数学的な処理を施して、電流経路を推測し可視化する技術です。
半導体や電子部品の不具合箇所の特定や、新素材の電流分布の測定に有効です。

＜磁場と電流の関係＞

電流が流れると、その周りには、右ネジの法則に従い磁場が発生します。磁気センサは決まった方向の磁場を検出するため、その方向及び強度の情報から、電流経路や電流分布を推測することができます。

• 金属皮膜下の電流経路を可視化可能 / 低抵抗のショート箇所を特定可能
  　➡　様々な製品の電流経路可視化に対応可能（半導体チップなど）
• 小型で低ノイズの時期センサ（TMR）を使用
  　➡　電流経路を高分解能で可視化可能

• パワーデバイスの短絡箇所の絞り込み
• プリント基板配線パターン内の電流経路観察
• LEDの電流経路観察
• CFRP（カーボン繊維強化プラスティック）内のカーボン繊維の観察
• 平面電極内の電流分布観察
• 磁場顕微鏡と３次元X線顕微鏡による非破壊解析
  　* 磁場顕微鏡で特定したショートなどの異常箇所を3次元X線顕微鏡(X線CT)で観察することにより、非破壊で詳細な原因解析が可能になります。
  　    また、非破壊解析により断面加工後の電子顕微鏡による高分解能観察や分析までにかかる時間を大幅に削減することができます。
    【関連ページ】３次元X線顕微鏡観察

※本受託観察サービスは東芝ナノアナリシス株式会社との提携により提供しております。